广州粤芯半导体技术有限公司12英寸集成电路模拟特色工艺生产线项目（三期）节能报告的审查意见

信息来源：省能源局节能处时间：2022-10-27 08:58:20

字体： [大] [中] [小]

粤能许可〔2022〕245号

　　广州粤芯半导体技术有限公司12英寸集成电路模拟特色工艺生产线项目（三期）采用的主要技术标准和建设方案符合国家相关节能法规及节能政策的要求，原则同意该项目节能报告。项目主要建设内容包括：建设年产48万片12寸集成电路晶圆生产线，主要建构筑物包括生产调度厂房、生产厂房、动力厂房、仓库、研发大楼、废水处理站、大宗气站、倒班楼等，主要设备包括光刻机、涂胶显影机、金属刻蚀机、刻蚀机、氧化热处理炉管、清洗机、冷水机组、燃气锅炉等。项目能耗量和主要能效指标：项目建成投产后，年综合能耗不高于47286吨标准煤（当量值），其中年电力消耗量不高于32555万千瓦时、天然气消耗量不高于595万立方米；项目单位集成电路晶圆制造电耗不高于1.1千瓦时/平方厘米。 

　　本审查意见自印发之日起两年内，如项目未开工建设，自动失效。